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据台湾媒体7月30日报道称,台积电的南科18a厂,29日夜间传出生产工序出现问题,一部分生产线已经停止运行,30日早上,供货商被挡于园区外,无法进入园区。
而有供应商透露,此次问题的原因是氧气供应受到污染,有有关人员认为,半导体材料生产工序大约有270道工序需用到氧气,基本上全是关键工序;更何况18a厂解决的全是现阶段台积电最先进的5纳米核心工序,此时产生氧气环境污染,也许是直中台积电重要,但预估台积电会全力以赴清除有关难题,尽早让生产线修复。
但接着台积电就这事做出回复,表明绝无此事,仅仅有一部分来自生产商供应的汽体疑是受到了污染,已及时调用别的汽体进行供应,对生产线未导致显着危害,产线仍处于正常生产。
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